Metadata language
Jaroszewicz, Zbigniew : Promotor.
Publisher: Place of publishing: Date issued/created: Description:160 s.: rys., 30 cm. ; Bibliogr. s. 151-160
Type of object: Subject and Keywords:Elektronika - materiały ; Materiały elektroniczne ; dyfrakcyjny element optyczny ; elektronolitografia ; reaktywne trawienie jonowe
Relation: Start page: End page: Resource type: Detailed Resource Type: Format: Source:ITME, sygn. P/2216 ; click here to follow the link
Language: Rights:Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Terms of use: Digitizing institution:Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Original in:Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych
Projects co-financed by:Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego
Access: