Metadata language
A note on optical materials for photolithography applications
Creator:Jain, A. ; Roszkiewicz, A. ; Nasalski, W.
Publisher: Place of publishing: Date issued/created: Type of object: Relation:IPPT Reports on Fundamental Technological Research
Resource type: Language: Rights:Licencja Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0
Terms of use:Zasób chroniony prawem autorskim. [CC BY 4.0 Międzynarodowe] Korzystanie dozwolone zgodnie z licencją Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0, której pełne postanowienia dostępne są pod adresem: ; -
Digitizing institution:Instytut Podstawowych Problemów Techniki Polskiej Akademii Nauk
Access: