@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Epitaksja_1984, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, volume={44}, number={4}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={1984}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Epitaksja krzemu. Kierunki rozwoju = Silicon epitaxy. Trends}, URL={http://www.rcin.org.pl/Content/9107/PDF/WA901_12321_M1_r1983-z4-44_Mater-Elektroniczne_Nossarzewskai_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, silicon epitaxy, CVD, VLSI}, }