@misc{Kowalik_Andrzej_Technologia_2007,
 author={Kowalik Andrzej},
 editor={Jaroszewicz, Zbigniew. Promotor.},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={PhD Dissertations},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={2007},
 publisher={ITME},
 language={pol},
 title={Technologia wytwarzania i optymalizacja parametrów dyfrakcyjnych elementów optycznych otrzymywanych przy użyciu elektronolitografii. Publiczna obrona rozprawy doktorskiej = Fabrication technology and optimization of diffractic optical elements obtained by using electron beam lithography},
 type={Text},
 URL={http://www.rcin.org.pl/Content/37071/PDF/WA901_30003_r2007_Pr-Dokt-Kowalik-tech_i.pdf},
 keywords={Electronic - materials, diffractive optical element, diffractive lens, electron-beam lithography, reactive ion etching},
}