@misc{Łazowy_Barbara_Badanie_1980,
 author={Łazowy Barbara},
 volume={28},
 number={4},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 address={Warszawa},
 journal={Electronic Materials},
 howpublished={online},
 year={1980},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 title={Badanie wpływu głębokiego trawienia chemicznego na jakość powierzchni krzemu. - An investigation of the effect of deep chemical etching on the quality of silicon surface},
 type={Text},
 URL={http://www.rcin.org.pl/Content/18725/PDF/WA901_11678_M1_r1979-z4-28_Mater-Elektron-Laz_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, chemical etching, silicon surface},
}