@misc{Kurth_Steffen_Mirror_1998, author={Kurth Steffen}, copyright={Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony}, journal={NEXUS Research News}, address={Warszawa}, howpublished={online}, year={1998}, publisher={Institute of Electronic Materials Technology}, language={eng}, title={Mirror arrays for laser beam deflection}, type={Tekst}, URL={http://www.rcin.org.pl/Content/39043/PDF/WA901_55966_r1998-z1_NEXUS-Kurth-mirror_i.pdf}, keywords={odchylanie wiązki laserowej, laser, matryca zwierciadeł, mikromechanika}, }