@misc{Piątkowski_Bronisław_Niektóre_1978,
 author={Piątkowski Bronisław},
 editor={Czerwińska Anna},
 editor={Bielecki Krzysztof},
 number={2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Proceedings of ONPMP},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={1978},
 publisher={Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"},
 language={pol},
 title={Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych = Some problems of improvement of geometrical parameters of polished silicon wafers},
 type={Text},
 URL={http://www.rcin.org.pl/Content/29347/PDF/WA901_17315_r1978-z2_Prace-ONPMP-Piatk_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - material, Electronic materials, geometrical parameter, polished silicon wafer},
}