@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Krzemowe_1976, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, volume={16}, editor={Lachowski Andrzej}, number={4}, copyright={Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony}, journal={Materiały Elektroniczne}, address={Warszawa}, howpublished={online}, year={1976}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, title={Krzemowe warstwy epitaksjalne o grubości powyżej 20 um}, type={Tekst}, URL={http://www.rcin.org.pl/Content/27264/PDF/WA901_45234_M1_r1976-z4-16_Mater-Elektron-Nos_i.pdf}, keywords={Elektronika - czasopismo - materiały, Materiały elektroniczne, warstwa epitaksjalna, Si, Grubość warstwy}, }